Ürünler

Ana sayfa Ürünler Parlatma makinesi Ayrıntılar

Otomatik mekanik kimyasal parlatma makinesi

Otomatik mekanik kimyasal parlatma makinesi, alt-8 inç Si CMP (BPSG, TEOS, Thox), metal CMP (W, CU), dielektrik filmler ve STI (sığır tuşlarına) uygulamalar dahil olmak üzere sert kırılgan malzemeler üzerinde tek - taraflı kimyasal mekanik parlatma (CMP) gerçekleştirir.

Soruşturma göndermek

Özellikleri

Başvuru

Otomatik mekanik kimyasal parlatma makinesi, - 8 - inç si cmp, oksit cmp (bpsg, teoS, thox), stics (w, cu), dielektrik film ve arsa dahil olmak üzere sert kırılgan malzemeler üzerinde tek - taraflı kimyasal mekanik parlatma (CMP) gerçekleştirir. Bu tam otomatik CMP sistemi ayrıca safir gofretler, germanyum gofretler, lityum niobat ve cam substratların paralel düzlemsel yüzeyleri için yüksek - hassasiyeti, yüksek verimli tek taraflı parlatma sağlar.

Otomatik mekanik kimyasal parlatma makinesi

SAP200-4H2P-FA

Model numarası		SAP200 - 4H2P-FA
parlatma diski	Çap	Φ510mm (20 '')
	Sayı	2
	Düşük disk hızı	0-200rpm
parlatma kafası	İş parçalarını işleme	6''/8''
	Basınçlandırma yöntemi	Hava yastığı esnek basınç geri basınç fonksiyonu (3 bölgeli basınç)
	hız	0-200rpm
	Sayı	4
Hassas dizin	Alt uç atlar	0.01 mm'den az veya eşit
Hassas dizin	Alt plakanın düzlüğü	0.008 mm'den az veya eşit
Ekipman boyutu (l * w * h)		3640mm × 2400 mm × 2600 mm
Cihaz ağırlığı		10000kg